Browsing Навчальні роботи by Author "Грицай, В.Г."
Now showing items 1-1 of 1
-
Конструювання і технологія мікроелектронних пристроїв. Ч. 2
Куліш, С.М.; Грицай, В.Г.; Олійник, С.В. (ХАІ, 2009)Наведено теоретичні основи випаровування і конденсації матеріалів у вакуумі. Розглянуто процеси між випалювачем і підкладкою, а також іонне розпилення матеріалів для отримання тонкоплівкових пасивних елементів мікросхем і ...