Search
Now showing items 1-1 of 1
Конструювання і технологія мікроелектронних пристроїв. Ч. 2
(ХАІ, 2009)
Наведено теоретичні основи випаровування і конденсації матеріалів у вакуумі. Розглянуто процеси між випалювачем і підкладкою, а також іонне розпилення матеріалів для отримання тонкоплівкових пасивних елементів мікросхем і ...