Получение и механические свойства тонких пленок металлов и полупроводников

dc.contributor.author	Коньков, В.Ф.
dc.date.accessioned	2021-04-05T07:13:32Z
dc.date.available	2021-04-05T07:13:32Z
dc.date.issued	1957
dc.identifier.citation	Коньков, В. Ф. Получение и механические свойства тонких пленок металлов и полупроводников / В. Ф. Коньков // XIV Научно-техническая конференция : тез. докл. и сообщ. / Харьков. авиац. ин-т. – Харьков : ХАИ, 1957. – С. 30.	uk_UA
dc.identifier.uri	http://dspace.library.khai.edu/xmlui/handle/123456789/615
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	ХАИ	uk_UA
dc.subject	полупроводники	uk_UA
dc.subject	тонкие слои металлов	uk_UA
dc.subject	получение тонких пленок полупроводников	uk_UA
dc.subject	напівпровідники	uk_UA
dc.subject	тонкі шари металів	uk_UA
dc.subject	отримання тонких плівок напівпровідників	uk_UA
dc.title	Получение и механические свойства тонких пленок металлов и полупроводников	uk_UA
dc.type	Other	uk_UA