Browsing by Subject "vacuum chamber"
Now showing items 1-1 of 1
-
Управление плотностью ионного тока от вакуумно-дугового источника в объеме вакуумной камеры при размещении управляющих электромагнитов под подложкой
(ХАИ, 2015)Предложена схема технологического устройства, которая позволяет обрабатывать детали на протяженных подложках (до 400 мм) потоками ионов плазмы вакуумно-дугового источника с помощью прогнозированной совокупности магнитных ...