Zur Kurzanzeige

dc.contributor.authorПадалка, В.Г.
dc.contributor.authorЛунев, И.В.
dc.date.accessioned2023-10-24T19:47:17Z
dc.date.available2023-10-24T19:47:17Z
dc.date.issued1994
dc.identifier.citationПадалка, В. Г. Исследование метода ВЧ магнетронного формирования конденсатов и некоторых свойств полученных слоев оксида алюминия / В. Г. Падалка, И. В. Лунев // Авиационно-космическая техника и технология. – Харьков, 1994. – С. 260–268.uk_UA
dc.identifier.urihttp://dspace.library.khai.edu/xmlui/handle/123456789/5655
dc.description.abstractВажной проблемой машиностроения является повышение надежности и долговечности машин и механизмов. Решение этой задачи тесно связано с созданием материалов, обеспечивающих повышенные эксплуатационные характеристики изделий, Среди известных методов изменения поверхностных свойств важную область занимают ионно-плазменные процессы, которые позволяют получать поверхностные слои со специальными физико-механическими свойствами. Высокочастотный магнетронный метод позволяет формировать с высокой производительностью высококачественные беспористые покрытия на основе диэлектриков. При этом наиболее перспективны магнетронные системы планарного типа, которые позволяют получать равнотолщинные покрытия на подложках большой площади. Покрытия на основе оксида алюминия получили распространения в различных областях техники вследствие их жаропрочности, высокой твердости, низкой теплопроводности, коррозионной стойкости. Для формирования диэлектрических покрытий ‘разработана высокочастотная установка магнетронного типа, созданная на базе вакуумной системы ВУ-IБ.uk_UA
dc.description.abstractВажливою проблемою машинобудування є підвищення надійності та довговічності машин та механізмів. Вирішення цієї задачі тісно пов'язане зі створенням матеріалів, що забезпечують підвищені експлуатаційні характеристики виробів. Серед відомих методів зміни поверхневих властивостей важливу область займають іонно-плазмові процеси, які дозволяють отримувати поверхневі шари зі спеціальними фізико-механічними властивостями. Високочастотний магнетронний метод дозволяє формувати з високою продуктивністю високоякісні безпористі покриття на основі діелектриків. При цьому найбільш перспективними є магнетронні системи планарного типу, які дозволяють отримувати рівнотовщинні покриття на підкладках великої площі. Покриття на основі оксиду алюмінію набули поширення в різних галузях техніки внаслідок їх жароміцності, високої твердості, низької теплопровідності, корозійної стійкості. Для формування діелектричних покриттів розроблено високочастотну установку магнетронного типу, створену на базі вакуумної системи ВУ-IБ.uk_UA
dc.language.isoruuk_UA
dc.publisherХАИuk_UA
dc.subjectоксид алюминияuk_UA
dc.subjectпокрытиеuk_UA
dc.subjectмагнетронuk_UA
dc.subjectдиэлектрическое покрытиеuk_UA
dc.subjectоксид алюмініюuk_UA
dc.subjectпокриттяuk_UA
dc.subjectдіелектричне покриттяuk_UA
dc.titleИсследование метода ВЧ магнетронного формирования конденсатов и некоторых свойств полученных слоев оксида алюминияuk_UA
dc.typeArticleuk_UA


Dateien zu dieser Ressource

Thumbnail

Das Dokument erscheint in:

Zur Kurzanzeige