Исследование метода ВЧ магнетронного формирования конденсатов и некоторых свойств полученных слоев оксида алюминия

Abstract

Важной проблемой машиностроения является повышение надежности и долговечности машин и механизмов. Решение этой задачи тесно связано с созданием материалов, обеспечивающих повышенные эксплуатационные характеристики изделий, Среди известных методов изменения поверхностных свойств важную область занимают ионно-плазменные процессы, которые позволяют получать поверхностные слои со специальными физико-механическими свойствами. Высокочастотный магнетронный метод позволяет формировать с высокой производительностью высококачественные беспористые покрытия на основе диэлектриков. При этом наиболее перспективны магнетронные системы планарного типа, которые позволяют получать равнотолщинные покрытия на подложках большой площади. Покрытия на основе оксида алюминия получили распространения в различных областях техники вследствие их жаропрочности, высокой твердости, низкой теплопроводности, коррозионной стойкости. Для формирования диэлектрических покрытий ‘разработана высокочастотная установка магнетронного типа, созданная на базе вакуумной системы ВУ-IБ.

Важливою проблемою машинобудування є підвищення надійності та довговічності машин та механізмів. Вирішення цієї задачі тісно пов'язане зі створенням матеріалів, що забезпечують підвищені експлуатаційні характеристики виробів. Серед відомих методів зміни поверхневих властивостей важливу область займають іонно-плазмові процеси, які дозволяють отримувати поверхневі шари зі спеціальними фізико-механічними властивостями. Високочастотний магнетронний метод дозволяє формувати з високою продуктивністю високоякісні безпористі покриття на основі діелектриків. При цьому найбільш перспективними є магнетронні системи планарного типу, які дозволяють отримувати рівнотовщинні покриття на підкладках великої площі. Покриття на основі оксиду алюмінію набули поширення в різних галузях техніки внаслідок їх жароміцності, високої твердості, низької теплопровідності, корозійної стійкості. Для формування діелектричних покриттів розроблено високочастотну установку магнетронного типу, створену на базі вакуумної системи ВУ-IБ.