Основи мікроелектроніки. Ч. 1

Abstract

Розглянуто елементи конструкції та технології напівпровідникових і гібридних інтегральних мікросхем, їх класифікацію, електрофізичні процеси в елементах мікросхем, контактні та поверхневі явища, що визначають структуру мікросхем, їх якість та особливості функціонування. Для студентів спеціальності базового напрямку «Електронні апарати».