Перспективы применения установок "Булат" для комбинированной обработки деталей авиационной техники
Аннотации
Рассмотрены возможности управления плотностью ионного тока в режиме ионного легирования и имплантации, т.е. влияние на ее технологические параметры: ток фокусирующего магнита, напряжение на подложке, давление реакционного газа и ток дуги. Рассмотрено распределение плотности ионного тока по радиусу подложки на разных расстояниях от испарителя. Все исследования проведены для условий работы одного и двух взаимно перпендикулярно расположенных испарителей, что позволяет получить значение дозы облучения в каждой точке технологической установки и найти время работы установки для получения требуемой дозы облучения. Розглянуто можливості управління щільністю іонного струму як іонного легування і імплантації, тобто. вплив на її технологічні параметри: струм фокусуючого магніту, напруга на підкладці, тиск реакційного газу та струм дуги. Розглянуто розподіл густини іонного струму по радіусу підкладки на різних відстанях від випарника. Всі дослідження проведені для умов роботи одного і двох перпендикулярно взаємно розташованих випарників, що дозволяє отримати значення дози опромінення в кожній точці технологічної установки і знайти час роботи установки для отримання необхідної дози опромінення.