Определение параметров плазмы в аномальном тлеющем разряде в скрещенных электрическом и магнитном полях

Abstract

Проведено измерение распределений потенциала плазмы, температуры и концентрации электронов в технологическом генераторе плазмы зондовым методом. Основные параметры плазмы определены также с помощью жидкостной модели. Получено количественное и качественное соответствие расчетных данных с экспериментальными в пределах погрешности зондового метода измерений. Проведено сравнение экспериментально измеренного распределения плотности тока по длине катода-мишени с расчетным. Показана возможность использования жидкостной модели для проведения количественного и качественного определения профиля зоны эрозии катода-мишени.

Проведено вимір розподілів потенціалу плазми, температури та концентрації електронів у технологічному генераторі плазми зондовим методом. Основні параметри плазми визначено також за допомогою рідинної моделі. Отримано кількісну та якісну відповідність розрахункових даних з експериментальними в межах похибки зондового методу вимірювань. Проведено порівняння експериментально виміряного розподілу густини струму по довжині катода-мішені з розрахунковим. Показано можливість використання рідинної моделі для проведення кількісного та якісного визначення профілю зони ерозії катода-мішені.