Особливості побудови систем електроживлення інверсної магнетронної розпорошувальної системи для формування багатокомпонентних покриттів (практичні аспекти розробки резистивних ланцюжків у складі генератора плазми)

Abstract

Продовжено розгляд особливостей побудови системи електроживлення дослідно-промислової технологічної установки для нанесення багатокомпонентних покриттів іонно-плазмовим методом. Головну увагу приділено практичним аспектам розробки керованих резистивних ланцюжків, з’єднаних з різними елементами схеми електроживлення технологічного генератора плазми. Відзначено, що управління режимом роботи технологічної установки забезпечується зміною опору цих ланцюжків відповідною автоматизованою системою. Запропоновано математичний вираз у вигляді поліному для опору ланцюжків, який відповідає вимогам до дослідницької установки та умові мінімізації кількості резисторів в окремому ланцюжці. Розглянуто структуру ланцюжка як з’єднання необхідної кількості клітинок.

Продолжено рассмотрение особенностей построения системы электропитания опытно-промышленной технологической установки для нанесения многокомпонентных покрытий ионно-плазменным методом. Главное внимание уделено практическим аспектам разработки управляемых резистивных цепочек, соединенных с разными элементами схемы электропитания технологического генератора плазмы. Отмечено, что управление режимом работы технологической установки обеспечивается изменением сопротивления этих цепочек соответствующей автоматизированной системой. Предложено математическое выражение в виде полинома для сопротивления цепочек, отвечающего требованиям к исследовательской установке и условию минимизации количества резисторов в отдельной цепочке. Рассмотрена структура цепочки как соединение необходимого количества ячеек.