Особливості побудови систем електроживлення інверсної магнетронної розпорошувальної системи для формування багатокомпонентних покриттів (практичні аспекти розробки резистивних ланцюжків у складі генератора плазми)
Переглянути
Дата
2019Автор
Литовченко, Л.В.
Колесник, В.П.
Чугай, О.М.
Бояркін, А.О.
Слюсар, Д.В.
Степанушкін, М.П.
Олійник, С.В.
Metadata
Показати повний опис матеріалуКороткий опис(реферат)
Продовжено розгляд особливостей побудови системи електроживлення дослідно-промислової технологічної установки для нанесення багатокомпонентних покриттів іонно-плазмовим методом. Головну увагу приділено практичним аспектам розробки керованих резистивних ланцюжків, з’єднаних з різними елементами схеми електроживлення технологічного генератора плазми. Відзначено, що управління режимом роботи технологічної установки забезпечується зміною опору цих ланцюжків відповідною автоматизованою системою. Запропоновано математичний вираз у вигляді поліному для опору ланцюжків, який відповідає вимогам до дослідницької установки та умові мінімізації кількості резисторів в окремому ланцюжці. Розглянуто структуру ланцюжка як з’єднання необхідної кількості клітинок. Продолжено рассмотрение особенностей построения системы электропитания опытно-промышленной технологической установки для нанесения многокомпонентных покрытий ионно-плазменным методом. Главное внимание уделено практическим аспектам разработки управляемых резистивных цепочек, соединенных с разными элементами схемы электропитания технологического генератора плазмы. Отмечено, что управление режимом работы технологической установки обеспечивается изменением сопротивления этих цепочек соответствующей автоматизированной системой. Предложено математическое выражение в виде полинома для сопротивления цепочек, отвечающего требованиям к исследовательской установке и условию минимизации количества резисторов в отдельной цепочке. Рассмотрена структура цепочки как соединение необходимого количества ячеек.