Работоспособность источника ионов для получения наноструктур
Короткий опис(реферат)
Приведены результаты теоретического, экспериментально-теоретического и
экспериментального исследований динамики температур и напряжений, а также
перемещений элементов ионно-оптической системы в режиме запуска источника ионов на
базе плазменно-ионного ускорителя. Наведено результати теоретичного, експериментально-теоретичного і
експериментального досліджень динаміки температур і напружень, а також
переміщень елементів іонно-оптичної системи в режимі запуску джерела іонів на
базі плазмово-іонного прискорювача.