Теоретическая модель разряда магнетронного распылительного устройства
Аннотации
Разработана модель стационарного режима магнетронного разряда, позволяющая
рассчитать вольтамперные характеристики. Предложен механизм поддержания разряда,
согласно которому генерация плазмы в магнитном поле обусловлена действием
высокоэнергетичных первичных электронов и электронов плазмы, а на параметры зоны
ионизации влияют процессы ионного распыления посредством изменения концентрации
атомов рабочего газа при баллистических столкновениях с распыленными атомами,
последующей термализации и отвода тепла к стенкам вакуумной камеры. Розроблено модель стаціонарного режиму магнетронного розряду, яка
дозволяє розрахувати вольтамперні характеристики. Запропоновано механізм
підтримки розряду, згідно з яким генерація плазми в магнітному полі зомовлена
дією високоенергетичних первинних електронів і електронів плазми, а на
параметри зони іонізації впливає процес іонного розпилення завдяки зміні
концентрації атомів робочого газу при балістичних зіткненнях з розпиленими
атомами, подальшій термалізації і відводу тепла до стінок вакуумної камери.