Основи мікроелектроніки. Ч. 1
Аннотации
Розглянуто елементи конструкції та технології напівпровідникових і
гібридних інтегральних мікросхем, їх класифікацію, електрофізичні
процеси в елементах мікросхем, контактні та поверхневі явища, що
визначають структуру мікросхем, їх якість та особливості функціонування.
Для студентів спеціальності базового напрямку «Електронні апарати».