Эффективная ионная очистка в разряде планарного магнетрона со структурой полого катода

Abstract

Исследована возможность эффективной ионной очистки поверхности подложки-катода в разряде планарного магнетрона.

Досліджена можливість ефективного очищення поверхні підкладки-катода в розряді планарного магнетрону.