Эффективное управление распределением плотности ионного тока в системе для вакуумно-дугового осаждения покрытий
Zusammenfassung
Исследована возможность эффективного управления распределением плотности ионного тока вдоль подложки значительной площади при помощи магнитных полей сложной структуры с использованием двух дополнительных электромагнитов установленных под подложкой, на которую происходит осаждение вакуумно-дугового покрытия. Досліджена можливість ефективного керування розподілом густини іонного струму вздовж підкладки значної площі за допомогою магнітних полів складної структури з використанням двох додаткових
електромагнітів встановлених під підкладкою, на яку осаджується вакуумно-дугове покриття.