Наноструктурні покриття
Аннотации
Викладено сучасні уявлення про фізику тонких утворень на поверхні й особливості їх застосування. Розглянуто різні види наноструктурних об’єктів, технології їх формування і відповідні методи вимірювань. Для студентів вищих навчальних закладів технічного і фізико-технічного профілів навчання.