Отримання багатокомпонентних покриттів при використанні складного катодного вузла імпульсного джерела плазми

Abstract

В роботі наведено конструкцію і описано принцип дії розробленого імпульсного вакуумно-дугового джерела плазми зі складовим катодним вузлом для отримання багатокомпонентних покриттів.