Запалювання вакуумно-дугового розряду в джерелах плазми нетрадиційними методами
Zusammenfassung
Предметом вивчення в статті є процеси збудження вакуумно-дугового розряду у джерелах плазми нетрадиційними методами: переходом тліючого розряду в дуговий (ПТД) та ініціювання дуги за допомогою лазерного випромінювання (ЛВ). Метою роботи є підвищення ресурсу систем запалювання (СЗ) джерел плазми для розширення їх технологічних можливостей і якості одержуваних покриттів. Предметом изучения статьи являются процессы возбуждения вакуумно-дугового разряда в источниках плазмы нетрадиционными методами: переходом тлеющего разряда в дуговой (ПТД) и инициирование дуги с помощью лазерного излучения (ЛВ). Целью работы является повышение ресурса систем зажигания источников плазмы для расширения их технологических возможностей и качества получаемых покрытий. The subject of research in this article is the processes of excitation of a vacuum-arc discharge in plasma sources by unconventional methods: the transition of a glow discharge into an arc discharge (TGA) and arc initiation using laser radiation (LR). The goals are to increase the service life of ignition systems (IS) for plasma sources to expand their technological capabilities and the quality of the resulting coatings. The tasks: to investigate the modes in which non-traditional IS stably excite an arc discharge and ensure their high service life.