Определение параметров технологического процесса формирования многокомпонентных покрытий
Abstract
На основе проведенных экспериментальных исследований разработана модель расчета компонентного состава многокомпонентного покрытия. Предложено использовать эту модель для определения технологических параметров (плотности тока на группы катодов-мишеней; разрядного потенциала; величины запирающего потенциала) процесса формирования многокомпонентных покрытий различного стехиометрического состава. На основі проведених експериментальних досліджень розроблено модель розрахунку компонентного складу багатокомпонентного покриття. Запропоновано використовувати цю модель для визначення технологічних параметрів (щільності струму на групи катодів-мішеней; розрядного потенціалу; величини замикаючого потенціалу) процесу формування багатокомпонентних покриттів різного стехіометричного складу.