Исследование влияния параметров потока плазмы на свойства формируемых покрытий

Abstract

Проведен анализ эффектов, связанных с бомбардировкой поверхности сложной формы частицами, в широко используемых плазменных процессах нанесения покрытий, объектом изучения которого является регулярная последовательность атомов, бомбардируемая извне под углом  относительно нормали к оси ряда. Рассмотрен процесс взаимодействия атомных частиц с поверхностями в области энергий бомбардирующих частиц порядка единиц или десятков электрон-вольт. Рассмотрены основные тенденции поведения величин, которые позволяют сделать предварительные выводы о превалирующих процессах на начальной стадии напыления покрытия на поверхность подложки.

Проведено аналіз ефектів, які пов’язані з бомбардуванням поверхні складної форми частками, у процесах нанесення покриттів, об’єктом вивчення є регулярна послідовність атомів, яка бомбардується під кутом  відносно зовнішньої нормалі до осі ряду. Розглянуто процес взаємодії атомних часток з поверхнею, енергія часток становить від одиниць до десятків електрон-вольт. Розглянуті загальні тенденції поведінки величин, які дозволяють зробити попередні висновки щодо превалюючих процесів на початковій стадії нанесення покриття на поверхню підкладки.