Измерительный преобразователь давления на основе ударного возбуждения электростатического MEMS-преобразователя
Abstract
Предложен принципиально новый подход к реализации измерительного преобразователя давления, основным отличием которого является использование режима ударного возбуждения электростатического MEMS-преобразователя. Запропоновано принципово новий підхід до реалізації вимірювального перетворювача тиску, основною відмінністю якого є використання ударного збудження електростатичного MEMS-перетворювача.