Кварцевый частотный модулятор с подвижным микроэлектродом управляемой геометрии
Zusammenfassung
В работе рассмотрены вопросы построения управляемых пьезорезонансных колебательных систем в
виде кварцевых частотных модуляторов на базе использования технологии микроэлектромеханических систем. У роботі розглянуто питання побудови керованих п'єзорезонансних коливальних систем у вигляді кварцових частотних модуляторів на базі використання технології мікроелектромеханічних систем.