Показати скорочений опис матеріалу
Проблема управления ионным потоком в технологических установках плазменно-ионной обработки
| dc.contributor.author | Баранов, О.О. | |
| dc.date.accessioned | 2023-04-10T08:37:16Z | |
| dc.date.available | 2023-04-10T08:37:16Z | |
| dc.date.issued | 2012 | |
| dc.identifier.citation | Баранов, О. О. Проблема управления ионным потоком в технологических установках плазменно-ионной обработки / О. О. Баранов // Открытые информационные и компьютерные интегрированные технологии : сб. науч. тр. – Харьков, 2012. – Вып. 55. – С. 52–66. | uk_UA |
| dc.identifier.issn | 2071-1077 | |
| dc.identifier.uri | http://dspace.library.khai.edu/xmlui/handle/123456789/4742 | |
| dc.description.abstract | Рассмотрена проблема управления энергией и плотностью ионного потока вдоль поверхности обрабатываемой подложки в технологических устройствах плазменно-ионной обработки. Проведен анализ современных технологических систем и методов управления параметрами ионного потока. | uk_UA |
| dc.description.abstract | Розглянуто проблему управління енергією та щільністю іонного потоку вздовж поверхні оброблюваної підкладки в технологічних пристроях плазмово-іонної обробки. Проведено аналіз сучасних технологічних систем та методів управління параметрами іонного потоку. | uk_UA |
| dc.language.iso | ru | uk_UA |
| dc.publisher | ХАИ | uk_UA |
| dc.subject | плазменно-ионная обработка | uk_UA |
| dc.subject | ионный поток | uk_UA |
| dc.subject | управление | uk_UA |
| dc.subject | плазмово-іонна обробка | uk_UA |
| dc.subject | іонний потік | uk_UA |
| dc.subject | управління | uk_UA |
| dc.title | Проблема управления ионным потоком в технологических установках плазменно-ионной обработки | uk_UA |
| dc.type | Article | uk_UA |