dc.contributor.author | Бреус, А.А. | |
dc.contributor.author | Костюк, Г.И. | |
dc.date.accessioned | 2023-04-10T09:08:36Z | |
dc.date.available | 2023-04-10T09:08:36Z | |
dc.date.issued | 2012 | |
dc.identifier.citation | Бреус, А. А. Механизм образования сверхтвердых наноструктурных ионно-плазменных покрытий при импульсной подаче потенциала смещения на подложку / А. А. Бреус, Г. И. Костюк // Открытые информационные и компьютерные интегрированные технологии : сб. науч. тр. – Харьков, 2012. – Вып. 55. – С. 67–72. | uk_UA |
dc.identifier.issn | 2071-1077 | |
dc.identifier.uri | http://dspace.library.khai.edu/xmlui/handle/123456789/4749 | |
dc.description.abstract | Предложен механизм образования сильных связей при импульсной подаче потенциала
смещения на подложку при осаждении вакуумно-дугового покрытия. Описано влияние размера островка на величину электрических полей на его поверхности. Для наноструктурных
покрытий напряженность электрического поля в 103-104
раз превышает величину напряженности для микроструктурных покрытий во время подачи импульса высокого отрица-
тельного потенциала смещения на подложку. При этом возможно существенное изменение
энергии активации процесса образования сильных связей в растущем покрытии, что дает
возможность получать высокие качественные характеристики покрытия при температуре
роста покрытия порядка 450 К. | uk_UA |
dc.description.abstract | Запропоновано механізм утворення сильних зв'язків при імпульсному подачі потенціалу зміщення на підкладку при осадженні вакуумно-дугового покриття. Описано вплив розміру острівця на величину електричних полів з його поверхні. Для наноструктурних покриттів напруженість електричного поля в 103-104 разів перевищує величину напруженості для мікроструктурних покриттів під час подачі імпульсу високого негативного потенціалу зміщення на підкладку. При цьому можлива істотна зміна енергії активації процесу утворення сильних зв'язків у покритті, що зростає, що дає можливість отримувати високі якісні характеристики покриття при температурі зростання покриття порядку 450 К. | uk_UA |
dc.language.iso | ru | uk_UA |
dc.publisher | ХАИ | uk_UA |
dc.subject | наноструктурное покрытие | uk_UA |
dc.subject | импульсная подача | uk_UA |
dc.subject | наноструктурне покриття | uk_UA |
dc.subject | імпульсна подача | uk_UA |
dc.title | Механизм образования сверхтвердых наноструктурных ионно-плазменных покрытий при импульсной подаче потенциала смещения на подложку | uk_UA |
dc.type | Article | uk_UA |