Теоретическая модель разряда магнетронного распылительного устройства

Abstract

Разработана модель стационарного режима магнетронного разряда, позволяющая рассчитать вольтамперные характеристики. Предложен механизм поддержания разряда, согласно которому генерация плазмы в магнитном поле обусловлена действием высокоэнергетичных первичных электронов и электронов плазмы, а на параметры зоны ионизации влияют процессы ионного распыления посредством изменения концентрации атомов рабочего газа при баллистических столкновениях с распыленными атомами, последующей термализации и отвода тепла к стенкам вакуумной камеры.

Розроблено модель стаціонарного режиму магнетронного розряду, яка дозволяє розрахувати вольтамперні характеристики. Запропоновано механізм підтримки розряду, згідно з яким генерація плазми в магнітному полі зомовлена дією високоенергетичних первинних електронів і електронів плазми, а на параметри зони іонізації впливає процес іонного розпилення завдяки зміні концентрації атомів робочого газу при балістичних зіткненнях з розпиленими атомами, подальшій термалізації і відводу тепла до стінок вакуумної камери.