Моделювання дугового розряду на мідному катоді для генерації наноструктур

Abstract

У роботі розглянуто модель процесів, що діють в іонізаційному шарі катодного вузла при плазмовій генерації наноструктур. У наведеній моделі досить докладно розглянуто процеси в електродинамічному та газодинамічному шарах плазми та їх узгодження. Тому вирішення моделі дозволяє досить адекватно визначити величину катодного стрибку потенціалу в електродинамічному шарі, що дає можливість компенсації всіх енергетичних утрат при генерації наноструктур, та величини потоків іонів та електронів на катоді. Розрахунки виконувались при постійному значенні подовженості іонізаційного шару, оскільки вона мало впливає на змінення густини іонного струму по довжині прикатодних шарів. Також розрахунки підтвердили несуттєву залежність вихідного тиску з іонізаційного шару від температури електронів. Отримані графіки залежності частки іонного струму на катоді та катодного спаду потенціалу від щільності струму при різних температурах катода показали, що змінення частки іонного струму надає можливість компенсації затрат енергії на підтримку температури катода. А розгляд рівняння балансу енергій дозволив визначити діапазон утрат робочого тіла, при якому можна не враховувати енергію на випаровування робочого тіла та підігрівання пари. Для визначення густини струму на катоді було отримано залежність термоемісійного струму від температури катода та залежність густини струму на катоді від концентрації плазми при різних катодних спадах і різних поданнях напруженостей електричного поля. Це дозволило визначити температуру катода через густину іонного струму та оцінити концентрацію плазми. Залежності від концентрації плазми отримано коефіцієнт електропереносу для різних механізмів емісії та катодних спадів. Все це дозволило визначити залежність питомої маси, що залишає катод в одиницю часу з одиниці площі, від температури катода та густини теплового потоку для мідного катода. Визначення питомої маси та коефіцієнта електропереносу надає можливість визначити ресурс катода при плазмовій генерації наноструктур.

The paper considers the model of processes acting in the ionization layer of the cathode assembly during plasma generation of nanostructures. In the given model the processes in electrodynamic and gas - dynamic layers of plasma and their coordination are rather densely considered. Therefore, the solution of the model allows to adequately determine the magnitude of the cathode potential jump in the electrodynamic layer, which allows to compensate for all energy losses during the generation of nanostructures, and the magnitude of ion and electron fluxes at the cathode. The calculations were performed at a constant value of the elongation of the ionization layer, because it has little effect on the change in the ion current density along the length of the cathode layers. Also, the calculations confirmed a non-significant dependence of the initial pressure from the ionization layer on the temperature of the electrons. The obtained dependences, the fraction of ionic current at the cathode and the cathode potential drop from the current density at different cathode temperatures, showed that the change in the proportion of ionic current makes it possible to compensate for energy costs to maintain the cathode temperature. And consideration of the equation of energy balance allowed to establish the range of losses of the working fluid at which it is possible not to take into account the energy of evaporation of the working fluid and steam heating. To determine the current density at the cathode, the dependence of the thermoemission current on the cathode temperature and the dependence of the current density on the cathode on the plasma concentration at different cathode drops and different representations of electric field strengths were obtained. This allowed to determine the cathode temperature due to the ionic current density and to estimate the plasma concentration. Depending on the plasma concentration, the electric transfer coefficient for different emission mechanisms and cathode drops is obtained. All this allowed us to determine the dependence of the specific gravity leaving the cathode per unit time per unit area, on the cathode temperature and heat flux density for the copper cathode. Determining the specific gravity and the transfer coefficient makes it possible to determine the life of the cathode during plasma generation of nanostructures.