Удосконалення математичної моделі розряду магнетронного розпилювального пристрою
| dc.contributor.author | Степаненко, Д.Р. | |
| dc.date.accessioned | 2025-06-02T18:10:43Z | |
| dc.date.available | 2025-06-02T18:10:43Z | |
| dc.date.issued | 2025 | |
| dc.identifier.citation | Степаненко, Д. Р. Удосконалення математичної моделі розряду магнетронного розпилювального пристрою / Д. Р. Степаненко // Відкрита науково-практична студентська конференція факультету авіаційних двигунів (ФАД) «Сучасні проблеми двигунобудування, енергетики та інтелектуальної механіки», 15–16 травня 2025 р., м. Харків : тези доп. – Харків: ХАІ, 2025. – С. 144–146. | uk_UA |
| dc.identifier.uri | http://dspace.library.khai.edu/xmlui/handle/123456789/8920 | |
| dc.language.iso | uk | uk_UA |
| dc.publisher | ХАІ | uk_UA |
| dc.subject | магнетронне розпилення | uk_UA |
| dc.subject | магнетронний розпилювальний пристрій | uk_UA |
| dc.subject | математична модель | uk_UA |
| dc.title | Удосконалення математичної моделі розряду магнетронного розпилювального пристрою | uk_UA |
| dc.type | Other | uk_UA |