Эффективные наноструктурные многослойные покрытия для режущих инструментов и деталей медицинского назначения, работающих в динамическом режиме
Аннотации
Показано, что максимальные остаточные напряжения сжатия в многослойном покрытии TiN–Ti составляют более 7,5 ГПа (энергия ионов 200 эВ), а приближаются к 7 ГПа при энергии 70 эВ, что подтверждается теоретическими результатами. В многослойной системе TiN–Ti при слое титана менее 120 нм достигаются высокие: микротвердость Н = 35–36 ГПа и индекс пластичности Н/Е 0,11…0,12. Толщины слоев Ti более 30 нм оказывается достаточной, чтобы развитие напряженно-деформированного состояния в слоях TiN проходило без их существенной релаксации. Проведен анализ влияния на структуру, упруго напряженно-деформированное состояние и механические характеристики многослойной системы Ti–TiN, толщины Ti подслоя (в интервале 30–250 нм) и величины потенциала смещения (Uп) Показано, що максимальна залишкова напруга стискування в багатошаровому покритті TiN – Ti складають більше 7,5 ГПа (енергія іонів 200 ЕВ), а наближаються до 7 ГПа при енергії 70 ЕВ, що підтвержується теоретичними результатами. У багатошаровій системі TiN – Ti при шарі титану менше 120 нм досягаються високі: мікротвердість Н = 35–36 ГПа і індекс пластичності Н/Е 0,11...0,12. Товщина шарів Ti більше 30 нм виявляється достатньою, щоб розвиток напружений-деформованого полягання в шарах TIN проходіло без їх істотної релаксації. Проведений аналіз впливи на структуру, пружно напружений-деформований стан і механічні характеристики багатошарової системи TiN – Ti, товщину Ti підшару (у інтервалі 30–250 нм) і величини потенциала зсуву (Uп)