Формирование проводящей пленки на поверхности диэлектрика пускового инжектора источника плазмы

Abstract

Приведены результаты исследований по формированию проводящей пленки в разрядном промежутке пускового инжектора в процессе работы вакуумно-дугового источника плазмы. Пленка осаждалась на торцевую поверхность трубки из керамики, применяемой для заполнения разрядного промежутка пусковых инжекторов. Эксперименты выполнялись в условиях реального технологического процесса нанесения защитно-декоративных покрытий в источниках плазмы с магнитным удержанием катодного пятна и катодами из хрома и титана.

Наведено результати досліджень формування провідної плівки в розрядному проміжку пускового інжектора в процесі роботи вакуумно-дугового джерела плазми. Плівка осідала на торцеву поверхню трубки з кераміки, яка застосовується для заповнення розрядного проміжку пускових інжекторів. Експерименти виконувались в умовах реального технологічного процесу нанесення захисно-декоративних покриттів у джерелах плазми з магнітним утриманням катодної плями та катодами з хрому та титану.