Показати скорочений опис матеріалу
Интегральные характеристики разряда в инверсном магнетроне с газовым анодом, секционированными катодными узлами и осевыми потоками плазмы
dc.contributor.author | Слюсарь, Д.В. | |
dc.date.accessioned | 2022-10-13T06:57:09Z | |
dc.date.available | 2022-10-13T06:57:09Z | |
dc.date.issued | 2014 | |
dc.identifier.citation | Слюсарь, Д. В. Интегральные характеристики разряда в инверсном магнетроне с газовым анодом, секционированными катодными узлами и осевыми потоками плазмы / Д. В. Слюсарь // Авиационно-космическая техника и технология. – Харьков : ХАИ, 2014. – № 2(109). – С. 91–95. | uk_UA |
dc.identifier.issn | 1727-7337 | |
dc.identifier.uri | http://dspace.library.khai.edu/xmlui/handle/123456789/2281 | |
dc.description.abstract | Показана необходимость использования контролируемого метода нанесения покрытий для реализации принципа конструирования покрытий. Сделан вывод о перспективности использования для решения стоящей задачи установок на основе инверсной магнетронной распылительной системы с газовым анодом, секционированными катодными узлами и осевыми потоками плазмы. Представлены и проанализированы результаты измерения интегральных характеристик исследуемой распылительной системы в зависимости от давления плазмообразующего газа и величины индукции магнитного поля в разрядном промежутке. Показано, что вольтамперные характеристики исследуемой распылительной системы и их изменение в зависимости от основных параметров, влияющих на ее работу, сходны по своему характеру с другими магнетронными распылительными системами. Даны рекомендации по выбору параметров ее работы. | uk_UA |
dc.description.abstract | Показано необхідність використання контрольованого методу нанесення покриттів для реалізації принципу конструювання покриттів. Зроблено висновок про перспективність використання для вирішення завдання установок на основі інверсної магнетронної розпилювальної системи з газовим анодом, секційованими катодними вузлами і осьовими потоками плазми. Представлено та проаналізовано результати вимірювання інтегральних характеристик досліджуваної розпилювальної системи залежно від тиску плазмоутворюючого газу та величини індукції магнітного поля в розрядному проміжку. Показано, що вольтамперні характеристики досліджуваної розпилювальної системи та їх зміна в залежності від основних параметрів, що впливають на її роботу, подібні за своїм характером з іншими магнетронними розпилювальними системами. Надано рекомендації щодо вибору параметрів її роботи. | uk_UA |
dc.language.iso | ru | uk_UA |
dc.publisher | ХАИ | uk_UA |
dc.subject | авиационно-космическая техника и технология | uk_UA |
dc.subject | газотурбинный двигатель | uk_UA |
dc.subject | покрытие | uk_UA |
dc.subject | инверсный магнетрон | uk_UA |
dc.subject | конструирование покрытий | uk_UA |
dc.subject | контролируемое нанесение | uk_UA |
dc.subject | жаростойкое покрытие | uk_UA |
dc.subject | авіаційно-космічна техніка і технологія | uk_UA |
dc.subject | газотурбінний двигун | uk_UA |
dc.subject | покриття | uk_UA |
dc.subject | інверсний магнетрон | uk_UA |
dc.subject | конструювання покриттів | uk_UA |
dc.subject | контрольоване нанесення | uk_UA |
dc.subject | жаростійке покриття | uk_UA |
dc.title | Интегральные характеристики разряда в инверсном магнетроне с газовым анодом, секционированными катодными узлами и осевыми потоками плазмы | uk_UA |
dc.type | Article | uk_UA |