Управление составом функционально-градиентных покрытий в переходных зонах

Abstract

Показана необходимость разработки новых методов формирования двух- и трехмерных функционально-градиентных покрытий. Сделан вывод о перспективности использования для решения стоящей задачи установок на основе инверсной магнетронной распылительной системы с газовым анодом, секционированными катодными узлами и осевыми потоками плазмы. Представлены и проанализированы результаты расчетно-аналитического эксперимента по выявлению влияния степени секционирования катодного узла исследуемой распылительной системы на возможность управления составом получаемых покрытий в различных точках на поверхности подложки. Даны рекомендации по выбору расположения секционированных катодов-мишеней в разрядном промежутке.

Показано необхідність розробки нових методів формування дво- та тривимірних функціонально-градієнтних покриттів. Зроблено висновок про перспективність використання для вирішення завдання установок на основі інверсної магнетронної розпилювальної системи з газовим анодом, секційованими катодними вузлами і осьовими потоками плазми. Представлено та проаналізовано результати розрахунково-аналітичного експерименту з виявлення впливу ступеня секціонування катодного вузла досліджуваної розпилювальної системи на можливість управління складом одержуваних покриттів у різних точках на поверхні підкладки. Надано рекомендації щодо вибору розташування секційованих катодів-мішеней у розрядному проміжку.