Вплив попередньої підготовки поверхні підкладок на морфологію двокомпонентних покриттів, отриманих в інверсній магнетронній розпорошувальній системі

Abstract

Досліджено фактори, що впливають на ефективність іонного очищення підкладок з бронзи БрАЖ9-4 і нержавіючої сталі 12Х18Н9Т при використанні дослідно-промислової установки «Вихрь-К». Установка оснащена інверсною магнетронною розпорошувальною системою з газовим анодом, секціонованими катодними вузлами та забезпечує створення радіальних потоків плазми. За допомогою растрового електронного мікроскопу «РЕМ 106» досліджено склад та морфологію поверхні підкладок та сформованих на них покриттів типу WC.

Исследованы факторы, влияющие на эффективность ионной очистки подложек из бронзы БрАЖ9-4 и нержавеющей стали 12Х18Н9Т при использовании опытно-промышленной установки «Вихрь-К». Установка оснащена инверсной магнетронной распыляющей системой с газовым анодом, секционированными катодными узлами и обеспечивает создание радиальных потоков плазмы. С помощью растрового электронного микроскопа «РЭМ 106» исследован состав и морфологию поверхности подложек и сформированных на них покрытий типа WC.