Работоспособность источника ионов для получения наноструктур

Abstract

Приведены результаты теоретического, экспериментально-теоретического и экспериментального исследований динамики температур и напряжений, а также перемещений элементов ионно-оптической системы в режиме запуска источника ионов на базе плазменно-ионного ускорителя.

Наведено результати теоретичного, експериментально-теоретичного і експериментального досліджень динаміки температур і напружень, а також переміщень елементів іонно-оптичної системи в режимі запуску джерела іонів на базі плазмово-іонного прискорювача.