Показать сокращенную информацию
Теоретическая модель разряда магнетронного распылительного устройства
dc.contributor.author | Баранов, О.О. | |
dc.date.accessioned | 2023-05-19T06:44:36Z | |
dc.date.available | 2023-05-19T06:44:36Z | |
dc.date.issued | 2014 | |
dc.identifier.citation | Баранов, О. О. Теоретическая модель разряда магнетронного распылительного устройства / О. О. Баранов // Открытые информационные и компьютерные интегрированные технологии : сб. науч. тр. – Харьков, 2014. – Вып. 64. – С. 102–119. | uk_UA |
dc.identifier.issn | 2071-1077 | |
dc.identifier.uri | http://dspace.library.khai.edu/xmlui/handle/123456789/4979 | |
dc.description.abstract | Разработана модель стационарного режима магнетронного разряда, позволяющая рассчитать вольтамперные характеристики. Предложен механизм поддержания разряда, согласно которому генерация плазмы в магнитном поле обусловлена действием высокоэнергетичных первичных электронов и электронов плазмы, а на параметры зоны ионизации влияют процессы ионного распыления посредством изменения концентрации атомов рабочего газа при баллистических столкновениях с распыленными атомами, последующей термализации и отвода тепла к стенкам вакуумной камеры. | uk_UA |
dc.description.abstract | Розроблено модель стаціонарного режиму магнетронного розряду, яка дозволяє розрахувати вольтамперні характеристики. Запропоновано механізм підтримки розряду, згідно з яким генерація плазми в магнітному полі зомовлена дією високоенергетичних первинних електронів і електронів плазми, а на параметри зони іонізації впливає процес іонного розпилення завдяки зміні концентрації атомів робочого газу при балістичних зіткненнях з розпиленими атомами, подальшій термалізації і відводу тепла до стінок вакуумної камери. | uk_UA |
dc.language.iso | ru | uk_UA |
dc.publisher | ХАИ | uk_UA |
dc.subject | плазменно-ионная обработка | uk_UA |
dc.subject | магнетронный разряд | uk_UA |
dc.subject | ионный поток | uk_UA |
dc.subject | плазмово-іонна обробка | uk_UA |
dc.subject | магнетронний розряд | uk_UA |
dc.subject | іонний потік | uk_UA |
dc.title | Теоретическая модель разряда магнетронного распылительного устройства | uk_UA |
dc.type | Article | uk_UA |