• українська
    • English
    • русский
    • Deutsch
Institutional Digital Repository of National Aerospace University KHAI
  • English 
    • українська
    • English
    • русский
    • Deutsch
  • Login
View Item 
  •   dKHAIIR Home
  • Факультет радіоелектроніки, комп’ютерних систем та інфокомунікацій (№ 5)
  • Навчальні роботи
  • Навчальні посібники
  • View Item
  •   dKHAIIR Home
  • Факультет радіоелектроніки, комп’ютерних систем та інфокомунікацій (№ 5)
  • Навчальні роботи
  • Навчальні посібники
  • View Item
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.

Конструювання і технологія мікроелектронних пристроїв. Ч. 2

Thumbnail
View/Open
Kulish_Konstrujuvannja.pdf (4.290Mb)
Date
2009
Author
Куліш, С.М.
Грицай, В.Г.
Олійник, С.В.
Metadata
Show full item record
Abstract
Наведено теоретичні основи випаровування і конденсації матеріалів у вакуумі. Розглянуто процеси між випалювачем і підкладкою, а також іонне розпилення матеріалів для отримання тонкоплівкових пасивних елементів мікросхем і мікрозборок. Викладено основи виготовлення товстоплівкових елементів мікросхем і мікрозборок. Описано закономірність дифузії домішок у напівпровідниковій пластині при застосуванні цього методу для отримання активних елементів мікросхем, виготовлення епітаксіальних напівпровідникових плівок як областей активних елементів безкорпусних мікросхем та іонного легування напівпровідників. Для студентів, які самостійно вивчають матеріал з дисциплін «Конструювання і технологія мікроелектронних пристроїв», «Основи конструювання і технологія БМА» і навчаються за напрямом «Електронні апарати».
URI
http://dspace.library.khai.edu/xmlui/handle/123456789/6730
Collections
  • Навчальні посібники

DSpace software copyright © 2002-2016  DuraSpace
Contact Us | Send Feedback
Theme by 
Atmire NV
 

 

Browse

All of DSpaceCommunities & CollectionsBy Issue DateAuthorsTitlesSubjectsThis CollectionBy Issue DateAuthorsTitlesSubjects

My Account

LoginRegister

DSpace software copyright © 2002-2016  DuraSpace
Contact Us | Send Feedback
Theme by 
Atmire NV