О влиянии условий осаждения на структуру, фазовый состав и свойства алмазоподобных пленок углерода

Abstract

Рассматривалось влияние условий осаждения на структуру, свойства и фазовый состав алмазоподобных пленок углерода. Были отмечены основные факторы, играющие существенную роль в структурообразовании алмазоподобных пленок углерода. Были выявлены некоторые закономерности формирования алмазоподобных углеродных пленок, которые могут быть определены как оптимальные условия осаждения.

Розглядався вплив умов осадження на структуру, властивості і фазовий склад алмазоподібних плівок вуглецю. Були відзначені основні фактори, що грають істотну роль у структуроутворенні алмазоподібних плівок вуглецю. Були виявлені деякі закономірності формування алмазоподібних вуглецевих плівок, що можуть бути визначені як оптимальні умови осадження