Дослідження структури температурних полів при іонно-плазмовій обробці міді

Abstract

У роботі використано і досліджено теоретичну модель, яка розглядає різні механізми передачі енергії мішені під час іонно-плазмової обробки, було отримано залежності зміни температури від енергії іонів у мідній мішені для різних часів взаємодії t.