Отримання багатокомпонентних покриттів при використанні складного катодного вузла імпульсного джерела плазми
Abstract
В роботі наведено конструкцію і описано принцип дії розробленого імпульсного
вакуумно-дугового джерела плазми зі складовим катодним вузлом для
отримання багатокомпонентних покриттів.