Эффективная ионная очистка в разряде планарного магнетрона со структурой полого катода
Abstract
Исследована возможность эффективной ионной очистки поверхности подложки-катода в разряде планарного магнетрона. Досліджена можливість ефективного очищення поверхні підкладки-катода в розряді планарного магнетрону.