Показати скорочений опис матеріалу
Эффективная ионная очистка в разряде планарного магнетрона со структурой полого катода
| dc.contributor.author | Баранов, О.О. | |
| dc.contributor.author | Романов, М.С. | |
| dc.date.accessioned | 2024-05-13T09:46:38Z | |
| dc.date.available | 2024-05-13T09:46:38Z | |
| dc.date.issued | 2010 | |
| dc.identifier.citation | Баранов, О. О. Эффективная ионная очистка в разряде планарного магнетрона со структурой полого катода / О. О. Баранов, М. С. Романов // Вопросы проектирования и производства конструкций летательных аппаратов : сб. науч. тр. / Нац. аэрокосм. ун-т им. Н. Е. Жуковского «Харьков. авиац. ин-т». – Харьков, 2010. – Вып. 3(63). – С. 50–57. | uk_UA |
| dc.identifier.issn | 1818-8052 | |
| dc.identifier.uri | http://dspace.library.khai.edu/xmlui/handle/123456789/7091 | |
| dc.description.abstract | Исследована возможность эффективной ионной очистки поверхности подложки-катода в разряде планарного магнетрона. | uk_UA |
| dc.description.abstract | Досліджена можливість ефективного очищення поверхні підкладки-катода в розряді планарного магнетрону. | uk_UA |
| dc.language.iso | ru | uk_UA |
| dc.publisher | ХАИ | uk_UA |
| dc.subject | ионная очистка | uk_UA |
| dc.subject | поверхность | uk_UA |
| dc.subject | планарный магнетрон | uk_UA |
| dc.subject | полый катод | uk_UA |
| dc.subject | ионный ток | uk_UA |
| dc.subject | іонне очищення | uk_UA |
| dc.subject | поверхня | uk_UA |
| dc.subject | планарний магнетрон | uk_UA |
| dc.subject | порожнистий катод | uk_UA |
| dc.subject | іонний струм | uk_UA |
| dc.title | Эффективная ионная очистка в разряде планарного магнетрона со структурой полого катода | uk_UA |
| dc.type | Article | uk_UA |